实训平台

国际微电子学院实验中心主要承担全校电子工艺课程、以及本学院各本科专业实验教学。实验中心设有面对电工电子实验中心以及面向电子、集成电路微电子3个专业实验教学中心,实验中心下设12个教学实验室,实验中心现有实验教学用房1684多平方米,拥有各类先进的教学实验设备2700多件套,价值7200多万元。形成了以基础课、技术基础课和专业课教学实验室为基础的结构层次科学、布局合理、功能齐全的实验室体系。

经过多年的建设和发展,拥有的实验教学平台有:4英寸Si基半导体工艺实验教学平台、宽禁带半导体信息器件平台、广东省高性能集成电路与系统重点实验室、广东省高校第三代半导体功率芯片与应用工程技术研究中心、东莞市宽禁带半导体信息功能材料与器件重点实验室等平台。

国际微电子学院正在规划建设电子科技大学的电子薄膜与集成器件全国重点实验室分室。

学院高度重视学生实践动手和创新创业能力的培养,为培养学生科技创新和技术研发能力,学院设立了3个大学生创新实验室,配备了指导教师和仪器设备,为学生开展课外科技实践和学科专业竞赛创造了良好的环境。近年来,学生参加各种科技创新和学科专业竞赛,取得了优异的成绩。

专业实验室介绍

1)4英寸Si基半导体工艺教学实验平台

该实验教学平台包含了光刻区、薄膜沉积区、测试区以及厂务区等集成电路制造工艺区,同时包括实验教学所需的芯片制备、前处理、表征、分析等设备。与已建设完成的集成电路学科的“半导体物理与器件”、“集成电路器件设计与仿真”、“集成电路设计”等教学实验室一起,能满足仿真设计、加工工艺、封装测试等方面实践实验的需求,从而达成集成电路学科与专业对人才培养的需要。

平台完成后,为半导体工艺、集成电路制造工艺、集成电路封装技术、 可靠性分析与失效原理、集成电路工艺专题实践、集成电路工艺综合实训等课程的开设提供了实验保障。

2)半导体物理与器件实验室介绍

实验室配备了多种先进的半导体研究设备与仪器,如:数字源表、数字电桥、数字示波器、信号发生器、数字万用表、半导体电阻率测试套件PN结变温测试夹具套件静态测试套件霍尔效应实验套件射频器滤波器放大器实验套件晶体管特征频率实验套件半导体器件动态开关特性实验套件等,共200余台,实验设备价值300余万。这些设备与仪器为实验室的研究工作提供了有力支持,确保了实验数据的准确性和可靠性。

实验室主要承担半导体物理与器件、集成电路器件和LED技术及其应用等微电子相关课程的实验教学1.半导体电阻率测试;2.PN结正向压降与温度关系;3.霍尔效应测试;4.半导体发光器/激光器LIV特性测试;5.半导体器件静态特性测试/功率器件静态测试;6.MOSFET器件寄生电容特性测试;7.射频器器件性能测试;8.双极性晶体管直流参数、特征频率测试;9.半导体功态开关特性实验。

为配合研究方向,实验室为本科生和研究生开设了多门相关课程,包括“半导体物理”、“半导体器件物理”、“集成电路设计”等,提供实验各方旨在提供系统而深入的半导体知识。

实验室注重对学生的培养和实践指导,为本科生和研究生提供了丰富的科研实践机会。实验室鼓励学生参与科研项目,培养其独立思考和解决问题的能力。同时,实验室还为学生提供了良好的实验环境和实践平台,帮助他们在实践中不断成长和提高。


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